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更新時間:2026-06-03
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| 型號 | 配置說明 | 適用工況 |
|---|---|---|
| EV-S20(標準版) | 普通碳鋼內腔、無氮氣吹掃 | 潔凈氣體、實驗室、SEM、鍍膜 Loadlock、無腐蝕工藝 |
| EV-S20P | 標配N?氮氣吹掃裝置、普通腔體 | 微量水汽、輕微腐蝕性揮發氣體 |
| EV-S20N | 鎳合金防腐腔體 + 內置氮氣吹掃 | 弱酸 / 鹵素腐蝕氣體(HF、BCl?、Cl?)、半導體蝕刻、濕制程 |
抽氣速率:1670 L/min(50/60Hz 通用,變頻不受電網頻率影響)
極限真空
EV-S20/20P:氣鎮 OFF=3Pa;氣鎮 ON=5Pa
EV-S20N:氣鎮 ON=5Pa
接口規格:進氣 NW50、排氣 NW25
功率:極限工況 0.4kW,滿載額定 0.75kW
電源:三相 200~220V 50/60Hz
冷卻方式:全風冷,無需接冷卻水(核心賣點)
噪音:≤57dB(A)
整機尺寸 (W×D×H):395×575×352mm
凈重:65kg
科研實驗室:SEM 掃描電鏡、X 射線熒光儀、質譜儀、鍍膜機預抽
半導體:Loadlock 真空腔、小型 CVD、中小腔體刻蝕、晶圓轉運預真空
光電 / LED / 光伏:芯片封裝、小型蒸鍍、鋰電材料真空預處理
化工醫藥:溶劑蒸餾、藥品真空干燥(20N 防腐款)
潔凈無腐蝕:選EV-S20(性價比高,國內常規備貨主力)
含水汽、少量有機溶劑:選EV-S20P(氮氣吹掃)
酸性、鹵素腐蝕性廢氣:選EV-S20N(鎳防腐 + 吹掃)
七、 采購渠道
玉崎科學儀器(深圳)有限公司 原裝現貨供應
地址:廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人:林經理