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EBARA荏原EV-S20干式真空泵產品詳情玉崎科學儀器深圳有限公司原裝現貨供應
更新時間：2026-06-03
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EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵完整產品詳情 玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
EV-S20整機
EV-S20正面
一、三大細分型號區分（國內在售 3 款）
| 型號 | 配置說明 | 適用工況 |
|---|---|---|
| EV-S20（標準版） | 普通碳鋼內腔、無氮氣吹掃 | 潔凈氣體、實驗室、SEM、鍍膜 Loadlock、無腐蝕工藝 |
| EV-S20P | 標配N?氮氣吹掃裝置、普通腔體 | 微量水汽、輕微腐蝕性揮發氣體 |
| EV-S20N | 鎳合金防腐腔體 + 內置氮氣吹掃 | 弱酸 / 鹵素腐蝕氣體（HF、BCl?、Cl?）、半導體蝕刻、濕制程 |
二、核心技術參數（原廠標準）
抽氣速率：1670 L/min（50/60Hz 通用，變頻不受電網頻率影響）
極限真空
EV-S20/20P：氣鎮 OFF=3Pa；氣鎮 ON=5Pa
EV-S20N：氣鎮 ON=5Pa
接口規格：進氣 NW50、排氣 NW25
功率：極限工況 0.4kW，滿載額定 0.75kW
電源：三相 200～220V 50/60Hz
冷卻方式：全風冷，無需接冷卻水（核心賣點）
噪音：≤57dB(A)
整機尺寸 (W×D×H)：395×575×352mm
凈重：65kg
三、產品結構與核心優勢
1、結構：無油羅茨干式泵
無潤滑油腔體、轉子無接觸間隙密封，全程潔凈無油霧、不污染腔體樣品，不用更換真空泵油、油過濾器。
2、節能設計
自帶怠速休眠變頻，腔體到達設定真空自動降轉速，同規格比國產干泵省電 30%；直流驅動，50/60Hz 抽速一致。
3、電控系統
機身自帶 LCD 智能控制面板：故障代碼報警、運行履歷存儲、可編程聯鎖、RS485 通訊接口（對接設備 PLC），符合SEMI-S2、CE、NRTL 工業安全標準。
4、安裝便捷
純風冷無需水冷管路，落地小型化，實驗室 / 設備機臺內置均可安裝。
四、適用行業 & 設備（國內熱銷場景）
科研實驗室：SEM 掃描電鏡、X 射線熒光儀、質譜儀、鍍膜機預抽
半導體：Loadlock 真空腔、小型 CVD、中小腔體刻蝕、晶圓轉運預真空
光電 / LED / 光伏：芯片封裝、小型蒸鍍、鋰電材料真空預處理
化工醫藥：溶劑蒸餾、藥品真空干燥（20N 防腐款）
五、選型快速建議
潔凈無腐蝕：選EV-S20（性價比高，國內常規備貨主力）
含水汽、少量有機溶劑：選EV-S20P（氮氣吹掃）
酸性、鹵素腐蝕性廢氣：選EV-S20N（鎳防腐 + 吹掃）
六、日常維護
無機油更換，僅年度清理進氣濾芯，維保成本極低。
七、 采購渠道
玉崎科學儀器（深圳）有限公司 原裝現貨供應
地址：廣東省深圳市龍華新區龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學
項目負責人：林經理
