玉崎科學儀器（深圳）有限公司  原裝現貨直發

日本荏原 EBARA 國內熱銷真空泵主力型號（分干式干泵 <主力熱銷>、水環液環泵兩大類，按市場出貨量排序）

一、小型實驗室 / 儀器級（華南、長三角儀器、科研、半導體 LoadLock 走量最高）

1. EV-SA20 / EV-S20P/N（爆款單品）

   風冷免水冷、小型無油，EV-S20N 耐蝕鎳材款、S20P 氮氣吹掃款；質譜、SEM、小型鍍膜、實驗室常年備貨，國內小真空配套銷量榜。

2. ESR20N、ESR30N

   緊湊型防腐干泵，輕腐蝕工藝、小型半導體設備標配，鋰電、化驗設備量大荏原製作所。

3. EV-A10-2S

   單相 220V 小螺桿干泵，替換旋片油泵，高校實驗室、小型鍍膜機熱銷。

二、中小制程工業干泵（半導體、鋰電、光伏主流走量款）

1. EV-PA500

   空冷中型干泵，鋰電真空干燥、醫藥、小型 PECVD 爆款，無需水冷安裝便捷，近幾年國產鋰電產線標配采購量大。

2. EV-X30N/X50/X100N/X200N（EV-X 新一代主力全系列）

   EV-X 是荏原現階段國內銷量主力系列：

• X30N（3000L/min）：中小型 Loadlock

• X100N（10000L/min）：刻蝕、CVD 中小型設備

• X200N（20000L/min）：光伏、碳化硅產線主力采購型號，節能防腐、占地小。

3. ESR500W

   中流量防腐機型，電鍍、化工真空、濕法制程常年出貨。

三、中大流量量產級（面板、光伏、半導體大廠大批量采購）

1. EV-M20N、M102N、M202N、M302N

   EV-M 重載羅茨干泵，半導體量產線、大腔體鍍膜、LCD 工廠標配；M102N/M202N 國內建廠配套剛需型號。

2. ESA80W?HDF、ESA100W、ESA200W、ESA300W

   ESA 輕氣體專用（氫氣 / 氦氣），MO-CVD、光伏、顯示行業爆款；ESA80WN 是第三代半導體、外延設備通用泵，國內碳化硅產線采購激增。

四、工業通用水環式真空泵（通用化工、塑膠、冶金民用市場）

1. 40DX、50DX、80DX（DX 系列水環）：荏原經典液環泵，注塑、化工抽氣、污水處理國內存量最大；

2. 250×、320× 大型水環：造紙、礦山真空脫水批量采購型號。

五、新品熱銷款

行業選型速記

• 實驗室 / 儀器：EV-S20、ESR20N、EV-A10

• 鋰電 / 醫藥：EV-PA500、EV-X50/X100

• 半導體 / 光伏量產：EV-X200N、EV-M 全系列、ESA80W

• 通用化工：DX 水環全系列

六、采購渠道

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項目負責人：林經理