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更新時間:2026-06-03
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到貨公告
各位客戶、合作伙伴:大家好!
我司新一批 EBARA 荏原 AA100W 風冷干式螺桿真空泵
已完成入庫、檢驗、上架工作,目前庫存充足,可正常接單、發貨。
| 參數項目 | 規格數值 |
|---|---|
| 標稱抽速 (50Hz) | 100m3/h=1670L/min |
| 標稱抽速 (60Hz) | 120m3/h=2000L/min |
| 極限真空 (空載) | ≤2.0Pa(2×10?2mbar) |
| 電機功率 | 2.2~3.0kW,三相 200/220V 50/60Hz |
| 冷卻方式 | 強制風冷(整機無需外接冷卻水) |
| 噪音 | 69~73dB(A) |
| 整機重量 | ≈115kg |
| 進氣法蘭 | DN40/DN50 標準真空法蘭 |
| 排氣 | 常壓直排 |
AA100W(標準版):鑄鐵泵體,常規惰性氣體、潔凈工藝
AA100W-CR 耐腐蝕版:螺桿 / 泵體內壁耐酸堿涂層,適配微量腐蝕性工藝氣體(蝕刻、CVD 尾氣)
AA100W-HT 高溫型:泵體伴熱,防粉體、溶劑冷凝結塊
全風冷免水冷:現場不用鋪設水路,安裝簡單,節省配套成本
全干式無油:無回油污染,適配半導體潔凈制程,優于油式真空泵
低維護:轉子無摩擦損耗,日常僅更換空濾、密封件,保養周期 8000~10000h
自帶電控面板:電流、泵溫、故障報警、啟停聯鎖,支持 PLC 遠程觸點控制
緊湊型機身:占地小,設備機臺內置安裝友好
半導體行業:LoadLock 預抽、小型蝕刻機腔體粗抽、CVD 前級真空、離子注入輔抽
光伏 / LED:PECVD 鍍膜粗抽、電池片邊緣干法蝕刻
FPD 面板:小型 OLED/LCD 濺射腔體預抽
科研儀器:SEM/TEM 電鏡前級泵、質譜 / XPS 表面分析、實驗室真空鍍膜
通用工業:真空脫泡、真空封裝、小型熱處理爐抽真空
我司將持續保障貨源穩定、供貨及時,竭誠為大家提供優質的產品與服務。
如需詢價、訂購、索取產品資料及資質文件,可隨時與我司對接人員聯系。
項目負責人:林經理
玉崎科學儀器(深圳)有限公司
2026年 06月 03日