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更新時(shí)間:2026-06-05
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| 參數(shù)項(xiàng)目 | 規(guī)格數(shù)值 |
|---|---|
| 標(biāo)稱抽速 (50Hz) | 100m3/h=1670L/min |
| 標(biāo)稱抽速 (60Hz) | 120m3/h=2000L/min |
| 極限真空 (空載) | ≤2.0Pa(2×10?2mbar) |
| 電機(jī)功率 | 2.2~3.0kW,三相 200/220V 50/60Hz |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷(整機(jī)無(wú)需外接冷卻水) |
| 噪音 | 69~73dB(A) |
| 整機(jī)重量 | ≈115kg |
| 進(jìn)氣法蘭 | DN40/DN50 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭 |
| 排氣 | 常壓直排 |
AA100W(標(biāo)準(zhǔn)版):鑄鐵泵體,常規(guī)惰性氣體、潔凈工藝
AA100W-CR 耐腐蝕版:螺桿 / 泵體內(nèi)壁耐酸堿涂層,適配微量腐蝕性工藝氣體(蝕刻、CVD 尾氣)
AA100W-HT 高溫型:泵體伴熱,防粉體、溶劑冷凝結(jié)塊
全風(fēng)冷免水冷:現(xiàn)場(chǎng)不用鋪設(shè)水路,安裝簡(jiǎn)單,節(jié)省配套成本
全干式無(wú)油:無(wú)回油污染,適配半導(dǎo)體潔凈制程,優(yōu)于油式真空泵
低維護(hù):轉(zhuǎn)子無(wú)摩擦損耗,日常僅更換空濾、密封件,保養(yǎng)周期 8000~10000h
自帶電控面板:電流、泵溫、故障報(bào)警、啟停聯(lián)鎖,支持 PLC 遠(yuǎn)程觸點(diǎn)控制
緊湊型機(jī)身:占地小,設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)置安裝友好
半導(dǎo)體行業(yè):LoadLock 預(yù)抽、小型蝕刻機(jī)腔體粗抽、CVD 前級(jí)真空、離子注入輔抽
光伏 / LED:PECVD 鍍膜粗抽、電池片邊緣干法蝕刻
FPD 面板:小型 OLED/LCD 濺射腔體預(yù)抽
科研儀器:SEM/TEM 電鏡前級(jí)泵、質(zhì)譜 / XPS 表面分析、實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜
通用工業(yè):真空脫泡、真空封裝、小型熱處理爐抽真空.
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